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蒸餾水是將水蒸餾、冷凝的水,蒸二次的叫重蒸水,三次的叫三蒸水。去離子水是將水通過陽離子交換樹脂,則水中的陽離子被樹脂所吸收,樹脂上的陽離子H+被置換到水中,并和水中的陽離子組成相應的無機酸;含此種無機酸的水再通過陰離子交換樹脂OH-被置換到水中,并和水中的H+結合成水,此即去離子水。
去離子水是指除去了呈離子形式雜質后的純水。國際標準化組織ISO/TC 147規定的“去離子”定義為:“去離子水完全或不完全地去除離子物質?!比缃竦墓に囍饕捎肦O反滲透的方法制取。